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電子線路板生產(chǎn)過程中，蝕刻是重要工序。蝕刻產(chǎn)生的廢氣產(chǎn)量非常大，如不嚴(yán)加處理，對作業(yè)人員的安全和健康造成很大威脅。蝕刻廢氣處理一般采取局部排風(fēng)(通風(fēng))的方法進(jìn)行控制，而且大多都采用的是單一通道排風(fēng)，通道內(nèi)也沒有對廢氣進(jìn)行相應(yīng)的吸收處理措施，因此，雖然對于車間環(huán)境有所改善，但廢氣中的有害成分仍未被有效收集處理，排放不達(dá)標(biāo)，對環(huán)境造成較大污染。
蝕刻廢氣分類
鹽酸霧主要是酸性蝕刻、活化等工序產(chǎn)生（在各個工序的微蝕段也會產(chǎn)生酸性氣體，例如內(nèi)層前處理的微蝕、內(nèi)層蝕刻后的酸洗、沉銅段的微蝕、板電的酸洗、DF顯影前的酸洗、pp的酸洗、ET的微蝕、WF前的酸洗、沉銀前酸洗微蝕、沉金前的酸洗微蝕、成品包裝前的酸洗）。
氨氣主要是堿性蝕刻銅工序產(chǎn)生。堿性蝕刻一般多用于外層板工段，是將露銅的銅面蝕刻掉，被錫覆蓋的銅面被保留。
廢氣處理
生產(chǎn)中的廢氣經(jīng)風(fēng)罩收集，經(jīng)管道由風(fēng)機(jī)進(jìn)入廢氣凈化塔的旋流裝置后，帶動水面旋轉(zhuǎn)形成堿（酸）水霧與廢氣充分混合，經(jīng)此旋流裝置處理，污染物能被去除；塔體配置二級水浴裝置，經(jīng)二級噴淋裝置清洗后完全能保證達(dá)標(biāo)排放。凈化塔內(nèi)添加一定的填料，這樣可以使得廢氣和吸收液充分接觸，從塔上部流下來的水再通過水泵提升到塔頂，不斷循環(huán)使用，循環(huán)液（氫氧化鈉溶液/硫酸溶液）在達(dá)到一定濃度后再排向污水處理系統(tǒng)統(tǒng)一排放。
工藝流程圖